Принципы измерения расстояний и линейных перемещений

С О Д Е Р Ж, А Н И Е

Принципы измерения расстояний и линейных перемещений…3

2 Описание принципа работы и оптических схем интерферометров

со счетом полос…5

2.1 Интерферометр со счетом полос на основе квадратурных сигналов…5

2. Интерферометр со счетом полос на основе частотной модуляции…7

3 Исследование погрешности измерения перемещений…10

1. Анализ основных состовляющих погрешности измерения

перемещений

3.2 Исследование погрешности показателя преломления воздуха…11

3. Определение погрешности измерения расстояния…12

3.4 Определение положения ближней и дальней зоны…14

ПРИЛОЖЕНИЯ…15

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ …25

1. Принципы измерения расстояний и линейных перемещений

Обобщенная схема измерения расстояний и линейных перемещений

посредством ЛИС на основе двухлучевого интерферометра изображена

на рис. 1а.

Рассматривая принципы и методы измерения, излучение лазера 1

будем считать идеальной плоской волной.

Интерферометр, состоящий из светоделителя 2, опорного отра-

жателя 3 и измерительного отражателя 4, настроен на бесконечно

широкую полосу. Интенсивность интерференционного сигнала I на фо-

топриемнике 5 изменяется по закону (рис. 1б)

I=I₀+I_~* COS (??L??), (1)

где I₀ и I_~ — постоянная составляющая и амплитуда переменной сос-

тавляющей сигнала соответственно; 2L - геометрическая разность

хода интерферирующих пучков;? — длина волны излучения.