Принципы измерения расстояний и линейных перемещений
Принципы измерения расстояний и линейных перемещений
С О Д Е Р Ж, А Н И Е
Принципы измерения расстояний и линейных перемещений…3
2 Описание принципа работы и оптических схем интерферометров
со счетом полос…5
2.1 Интерферометр со счетом полос на основе квадратурных сигналов…5
- Интерферометр со счетом полос на основе частотной модуляции…7
3 Исследование погрешности измерения перемещений…10
- Анализ основных состовляющих погрешности измерения
перемещений
3.2 Исследование погрешности показателя преломления воздуха…11
- Определение погрешности измерения расстояния…12
3.4 Определение положения ближней и дальней зоны…14
ПРИЛОЖЕНИЯ…15
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ …25
1. Принципы измерения расстояний и линейных перемещений
Обобщенная схема измерения расстояний и линейных перемещений
посредством ЛИС на основе двухлучевого интерферометра изображена
на рис. 1а.
Рассматривая принципы и методы измерения, излучение лазера 1
будем считать идеальной плоской волной.
Интерферометр, состоящий из светоделителя 2, опорного отра-
жателя 3 и измерительного отражателя 4, настроен на бесконечно
широкую полосу. Интенсивность интерференционного сигнала I на фо-
топриемнике 5 изменяется по закону (рис. 1б)
I=I0+I~* COS (??L??), (1)
где I0 и I~ — постоянная составляющая и амплитуда переменной сос-
тавляющей сигнала соответственно; 2L - геометрическая разность
хода интерферирующих пучков;? — длина волны излучения.